美國阿爾法微差壓傳感器在半導體領域主要用于高精度環境控制與工藝監測：
潔凈室壓差管理?：監測不同潔凈等級區域間的微小壓差（通常0-100Pa），維持單向氣流防止污染擴散，確保ISO 1-5級潔凈度；
刻蝕與沉積工藝控制?：實時反饋反應腔體與外部氣壓差（如0-1kPa），優化氣體流量及真空度，保障晶圓表面處理的均勻性；
設備健康診斷?：通過檢測氣體管路或過濾系統的壓差變化，預警堵塞、泄漏等故障，減少停機風險。
其特性（±0.5%FS精度、抗化學腐蝕）能適配半導體嚴苛環境，直接提升良品率與生產穩定性，是智能制造的關鍵傳感元件之一。
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正向和反向15PSL（100KPa）
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%，±0.4%，±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體（非凝露）
精度：±1.0%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正負向均能承受100kPa的過載而不損壞
壓力介質：空氣或其它非導電性氣體（非凝露）
精度：±0.8%,±0.4%,±0.25%
量程：單向：25 Pa至25000 Pa / 雙向：±10 Pa至±10000 Pa
信號輸出：4-20mA, 0-5Vdc, 0-10Vdc
最大靜壓：正向和反向15PSI（100KPa）
研發（美國）：468 Great Road Acton, MA 01720
深圳總公司：深圳丨南山丨夢海大道5109號卓越前海壹號T3座32層
河南分公司：南陽 | 社旗 | 森霸傳感產業園
聯系電話：400-180-3005
郵箱：contact@alphainstruments.com
粵公網安備 44030602004707號
CN
EN